微机电系统研究的新进展

    日本东京大学两研究小组共同开发出了一种薄膜型无线通信系统，只需将电子设备放在薄膜上，即可在电子设备之间进行通信。其中，置有MEMS开关的开关薄膜是此套系统的重要技术环节。

      MEMS（微机电系统）因其体积小，便于多功能集成，适合采用大批量制造工艺而极大地降低成本等特点，向人们展示了广阔应用前景，在流体中的应用潜力也非常诱人。我国微机电系统研究也有很多先进的成果，成都电子科技大学机械电子工程学院教授丁杰雄的“MEMS中基于多模谐振的超声波悬浮颗粒分离方法研究”便是其中之一。

     丁杰雄教授认为，对含有悬浮颗粒的混合流体而言，悬浮颗粒往往是问题的核心，超声波能对流体中的悬浮颗粒产生一个平均作用力，该力可用于控制悬浮颗粒的运动而实现颗粒分离。由于MEMS的结构特点，很多宏观上常用的分离方法受到这样那样的限制，而超声波器件在制造工艺上与MEMS方便兼容，超声波处理悬浮颗粒的技术有着极大的潜在应用价值，特别是随着生物技术对人类社会的影响作用不断加强，其社会效益和经济价值更是无法估量。在国外提出的利用超声波多层谐振和层流的MEMS分离方法基础上，丁杰雄教授结合MEMS结构和工艺特点，研究基于腔体多模谐振的超声波悬浮颗粒分离方法，包括二维驻波声场的微谐振腔结构模型、微流体通道和出入口结构的建摸与优化，研制微分离器件并开展分离效果影响因素的实验研究，具有较高水平。